光刻機到底有多貴，大家可能會猜測一億元或者幾億元。最近ASML向英特爾交付了一臺非常特殊的光刻系統，這是ASML向客戶交付的首臺數值孔徑的極紫外光刻系統，數值孔徑的極紫外對應NA EUV，是目前最先進的光刻系統。僅這一臺光刻系統的成本就超過了21億元。

同時這臺光刻系統還是一個龐然大物，組裝完成后，它的體積甚至比一輛卡車都要大。僅僅運輸這臺光刻系統，就需要13個集裝箱。

英特爾預計將會于2026年或2027年商用這臺光刻系統，雖然不清楚英特爾將其用于哪些產品，但這樣一臺先進的產品，可以滿足未來十年的光刻需求。

除了英特爾之外，像臺積電、三星等也訂購了該光刻系統，目前還在等待交付。

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