■趙子強(qiáng)

繼美國與荷蘭之后，7月23日，日本限制半導(dǎo)體制造設(shè)備出口的新規(guī)也正式生效，這給我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最尖端的芯片制造領(lǐng)域帶來巨大壓力。

光刻機(jī)是一種利用光學(xué)原理將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上的設(shè)備，相當(dāng)于芯片制造的“打印機(jī)”，決定著芯片的工藝水平和性能，是芯片制造中的關(guān)鍵核心設(shè)備，也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心中的核心。全球光刻機(jī)市場(chǎng)幾乎被荷蘭的阿斯麥（ASML）、日本的佳能和尼康壟斷，其中ASML更是獨(dú)占高端極紫外光刻機(jī)（EUV）的市場(chǎng)份額。隨著這些國家對(duì)中國半導(dǎo)體制造設(shè)備實(shí)施出口限制，中國獲取高端光刻機(jī)的難度將進(jìn)一步加大。

目前最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，有超過45萬個(gè)零件，零件數(shù)量是一輛F1賽車的20倍以上，制造難度超乎想象。即便是處于世界EUV光刻機(jī)制造壟斷地位的ASML，大約也只生產(chǎn)了其中的15%，另外85%的零件需要從全球的供應(yīng)鏈整合而來。因此，推進(jìn)我國光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，提升半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率，是當(dāng)下乃至未來相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)，既重要緊迫，同時(shí)又有很高難度的攻堅(jiān)任務(wù)。

一方面，要看到在國家政策支持和市場(chǎng)需求驅(qū)動(dòng)下，近年來我國在光刻機(jī)領(lǐng)域取得了積極進(jìn)展。近日，有消息稱，上海微電子正在致力于研發(fā)28納米浸沒式光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2023年底將國產(chǎn)第一臺(tái)SSA/800-10W光刻機(jī)設(shè)備交付市場(chǎng)。2022年11月15日，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了華為的一項(xiàng)新專利“反射鏡、光刻裝置及其控制方法”（CN115343915A），這是在EUV光刻機(jī)核心技術(shù)上取得的突破性進(jìn)展。另外，華中科技大學(xué)研制的OPC系統(tǒng)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制的激光干涉系統(tǒng)等，也各自有所突破。同時(shí)，我國也在加快推進(jìn)14納米、7納米甚至更低節(jié)點(diǎn)的光刻機(jī)研發(fā)工作。

我國可量產(chǎn)90納米以上的光刻機(jī)，與國際先進(jìn)水平雖有差距，但也能滿足國內(nèi)市場(chǎng)部分需要。這表明，我國在光刻機(jī)領(lǐng)域具有一定的技術(shù)積累和人才儲(chǔ)備，有望逐步縮小與國際先進(jìn)水平的差距。

另一方面，也要看到光刻機(jī)涉及光學(xué)、精密機(jī)械、材料、控制等多領(lǐng)域復(fù)雜技術(shù)，關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)具有超高難度，僅有政策和資金支持還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，還需要包括技術(shù)、人才、數(shù)據(jù)等各種資源的高效組合。發(fā)揮好資本市場(chǎng)的資源配置功能，對(duì)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)而言大有裨益。資本市場(chǎng)可以為光刻機(jī)相關(guān)企業(yè)提供融資渠道，幫助企業(yè)擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模、增加研發(fā)投入、引進(jìn)人才和技術(shù)等，提高企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力和創(chuàng)新能力。資本市場(chǎng)可以為光刻機(jī)相關(guān)企業(yè)提供價(jià)值評(píng)估和激勵(lì)機(jī)制，促進(jìn)企業(yè)提高質(zhì)量和效率，增強(qiáng)市場(chǎng)信心和影響力，吸引更多的合作伙伴和客戶。資本市場(chǎng)還可以為光刻機(jī)相關(guān)企業(yè)提供信息傳遞和監(jiān)督功能，增加企業(yè)的透明度和公信力，促進(jìn)企業(yè)與政府、行業(yè)協(xié)會(huì)、科研機(jī)構(gòu)等的溝通和協(xié)調(diào)，形成良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

光刻機(jī)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“王冠上的明珠”，推進(jìn)其關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)，提升半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率，是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路。路雖遠(yuǎn)，行則將至！